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KKD-100162STH半导体晶片清洗机

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半导体晶片清洗机.png


半导体晶片清洗机整机特点：

●采用一套多臂气动机械手传动，定位精准，效率高。

●人机界面,PLC程序控制,触摸屏操作。

●水系型清洗剂、DI水、IPA清洗干燥。

●间接式导热油加热方式，全自动IPA检测、灭火装置。

●机架及全封闭外罩HEPA高效空气过滤器，防止二次污染。

●采用多种清洗频率清洗设备：

●40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。


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